陶瓷平面研磨機的軌跡分析與研究

用磨料或磨具進行的精密平面研磨拋光技術在精密加工、超精密加工領域內占據著舉足輕重的地位，應用十分廣泛，成為金屬線紋尺、量塊工作面、機械密封的密封環、電機零件、液壓及氣動控制件、單晶硅片、制造激光唱片、VCD光盤的模具等零件精密加工的關鍵技術。

陶瓷平面研磨機研磨方法是當前國內運用比較廣泛的一種研磨方法。而研磨刀片平面，通常是在陶瓷平面研磨機上進行的。刀片平面的研磨質量好壞和生產效率高低，研磨盤磨損均勻性、隔離盤磨損程度，很難由操作人員隨意加以控制，但卻與研磨機的研磨運動和運動軌跡有著密切關系，并與研磨運動參數合理選擇關系很大。

平面研拋軌跡曲線直接影響研拋的質量與效率，是深入認識研拋過程機理的基礎問題，可以把研拋過程的軌跡曲線分為兩類：工件上一定點相對于研磨盤的運動軌跡，以及研磨盤上一定點相對于工件的運動軌跡。軌跡曲線對工件加工精度的影響較大，這主要是由于工件相對于研磨盤的切削速度大小、切削速度的方向、工件有無加工不到的區域等影響加工精度的參數與不同的軌跡曲線密切相關。

隔離盤作行星運動的陶瓷平面研磨機為三種類型，一是上、下研磨盤固定不動，研磨運動完全由隔離盤的行星運動來完成；二是上、下研磨盤旋轉，隔離盤作行星運動；三是下研磨盤旋轉，上研磨盤只浮動，隔離盤作行星運動。

如果要研發新的陶瓷平面研磨機，那就需要陶瓷平面研磨機的研磨運動和運動軌跡必須滿足以下要求：第一，合金刀片平面相對于研磨盤的運動方向應不斷變化，這樣才可避免有紋磨削；第二，應當使刀片上每點相對于研磨盤上的研磨路程相等，以保證刀片上研磨去相同的余量，保持刀片平面的平面度和兩端平面的平行度，并使研磨盤工作面磨損均勻；第三，為了適應粗、精研磨，要求研磨速度和速度周期變換系數能進行調整。

陶瓷平面研磨機的軌跡對研磨的質量及效率是非常關鍵的。只有掌握正確的軌跡方式，才能使研磨精度達到一個新的高度。